Microsoft Windows XP [Versión 5.1.2600]
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C:\Documents and Settings\Alex>start winword
C:\Documents and Settings\Alex>start WinWord
C:\Documents and Settings\Alex>start WiNwOrD
C:\Documents and Settings\Alex>

Todas se ejecutan, no se si no te funciona para el cierre de procesos.

WTF? Por ejemplo,

Public Sub KillProcess(ByVal processName As String)
On Error GoTo ErrHandler
    Dim oWMI
    Dim ret
    Dim sService
    Dim oWMIServices
    Dim oWMIService
    Dim oServices
    Dim oService
    Dim servicename
    Set oWMI = GetObject("winmgmts:")
    Set oServices = oWMI.InstancesOf("win32_process")
    For Each oService In oServices
 
    servicename = LCase(Trim(CStr(oService.Name) & ""))
 
    If InStr(1, servicename, LCase(processName), vbTextCompare) > 0 Then
        ret = oService.Terminate
    End If
 
    Next
 
    Set oServices = Nothing
    Set oWMI = Nothing
 
ErrHandler:
    Err.Clear
End Sub
'# http://www.configurarequipos.com/truco450.html

Call

    KillProcess ("WiNwOrD.exe")
    KillProcess ("winword.exe")
    KillProcess ("WINwORD.exe")

Todas funcionan,

Pero te diste cuenta, del porque funcionan todos los ejemplos que te dí?

@Petro_Boca, eso quiere decir sí o no? xD

jajaja mira las siguientes 2 lineas,

'[SNIP]
    servicename = LCase(Trim(CStr(oService.Name) & ""))
 
    If InStr(1, servicename, LCase(processName), vbTextCompare) > 0 Then
'[SNIP]

En la primera, que esta dentro del For Each, cada servicio pasa por la función LCase.
En la segunda, cuando realiza la comparación, el parámetro processName de la función KillProcess también pasa por la misma función.

PD: LCase, devuelve una cadena o un carácter convertidos en minúscula.