Primero, si vas a hacer una iteracion una cantidad de veces determinada -en este caso 5- usa FOR, porque while y until se usan cuando na sabes cuantas veces debes iterar, por ejemplo mientras se cumple algo intentar de nuevo.
No uses lo de copiar el contenido de un archivo a otro nuevo y menos en el caso de que no sean archivos de texto ya que se puede dañar el contenido por un error de codificacion.
Y por ultimo no uses SET dentro de una iteracion si ya lo tienes definido.
Option Explicit
Dim counter, fso, File
Set fso = CreateObject("Scripting.FileSystemObject")
Set File = fso.GetFile(".\Edificio2DA.dat")
For counter = 1 to 5
File.Copy (".\"&counter&".dat")
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